‐ Fluent化学反应模型进行CVD气相沉积计算可调用Chemkin机理文件，相比于手工输入的简单反应机理，精度更高

‐ 本案例以甲硅烷化学气相沉积为例，演示了如何使用Fluent调用Chemkin的化学反应机理文件进行耦合仿真的设置、计算及后处理过程

‐ 注意事项：文档基于2026R1版本编写，如需获取案例及反应机理文件，欢迎联系摩尔芯创。